雙面研磨/拋光機(jī)
YJ-13B5L/PA
產(chǎn)品介紹
雙面研磨/拋光機(jī)YJ-13B5L/PA
本機(jī)器主要用于半導(dǎo)體材料、金屬、非金屬工件（如閥板、剛性密封墊、活塞環(huán)、寶石制品、玻璃制品等）的平面研磨。也適用于超薄、脆性材料制成工件（如石英晶體）的研磨。
產(chǎn)品特點(diǎn)
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01
機(jī)器采用雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)，游星輪在上下盤之間做行星運(yùn)動(dòng)，工件上下表面同時(shí)均勻研磨/拋光；
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02
機(jī)器采用內(nèi)齒圈升降，內(nèi)齒圈升降采用點(diǎn)動(dòng)控制方式操作，使操作者能自由控制齒圈升降高度；
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03
電機(jī)均使用變頻器控制，能在有效設(shè)置范圍內(nèi)以任意速度工作，停止、加減速過(guò)程平穩(wěn)，無(wú)抖動(dòng)、無(wú)沖擊；
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04
上盤裝置增加機(jī)械的安全裝置，在擺片、維修等狀態(tài)下不會(huì)因突然故障而下降，增加了安全性；
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05
太陽(yáng)輪可以任意調(diào)速，根據(jù)客戶的要求可以方便的調(diào)整游星輪轉(zhuǎn)速，實(shí)現(xiàn)盤面的修磨 。
產(chǎn)品參數(shù)
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上、下盤尺寸φ849×φ274×30 mm
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工件厚度25 mm
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工件直徑φ270 mm
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下盤轉(zhuǎn)速0～60 rpm
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游星輪數(shù)量5
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內(nèi)齒圈抬升行程0～25 mm
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安全裝置氣缸行程0～30mm
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主電機(jī)3相(phase) 7.5 kw 1450 r/min
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副電機(jī)3相(phase) 0.75 kw 1450 r/min
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砂泵電機(jī)250 W
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氣源壓力0.5-0.6 Mpa
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工作壓力0.45-0.6 Mpa
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外形尺寸1545×1500×2810 mm
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機(jī)器重量~3200 Kg
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